Gigaphoton,將於3月開始提供半導體製造設備解析用之下一代開放平台「FABSCAPE™」
 
Feb 23, 2018
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藉由統合多種半導體製造設備之數據,實現廣範圍之解析和評價,進而對業界帶來新貢獻

February 23, 2018 12:26 PM Hong Kong Time
日本栃木縣小山市--(BUSINESS WIRE)--(美國商業資訊)--微影光源的主要製造商Gigaphoton株式會社 (總公司:栃木縣小山市,社長:浦中克己)宣布,將於3月開始提供下一代解決方案「FABSCAPE™」,運用於半導體曝光設備之運轉監測及解析。

對許多的半導體製造商來說,收集、解析及活用多種設備所產生的大量數據是一項艱鉅的任務,長久以來為一項待解決的課題。Gigaphoton所開發之FABSCAPE™為一開放平台,其目的為可一律的處理任何製造商之數據。藉由在FABSCAPE™上擴張Plugin 及驅動程式,實現所有設備數據之統一化,使用者可在同樣條件下更為廣範圍的解析和評價不同設備間重要之性能數據。

此外,FABSCAPE™對於使用者針對各種機能之Plugin 及驅動程式所做的開發組合搭配,能夠對應其個別需求實現APP之優化。

今後Gigaphoton除了可視化工具之外,也預定提供以微影裝置組( litho cell)為單位,能自動優化定期維護計畫的「AMAX™」Plugin,以及活用 AI Engine之自動化用插件。

除此之外,針對開發數據統一化解決方案的半導體製造商、設備製造商及其他的機關,Gigaphoton預定在線提供FABSCAPE™。另外還將提供API及示例代碼、教程、研討班等適用於開發者之豐富工具,以促進FABSCAPE™開放平台之普及。

Gigaphoton社長兼CEO浦中克己發言如下,「做為一供應商,解決客戶之問題為我們每天重要之任務,但同時我們認為,針對不同客戶所遇到的特殊問題,提供定製化解決方案以供客戶自行簡單迅速解決問題也是十分重要的。FABSCAPE™為一大膽之開放軟體,它能使客戶藉由與業界內外夥伴之共同合作更加理解設備之數據,對其做均一之處理。我們確信FABSCAPE™做為一創新的橋梁,必定能對業界帶來新的貢獻。」

*2018年2月25日~3月1日在加州San Jose舉辦的“SPIE Advanced Lithography”之 Session10(3月1日),將會對「FABSCAPE™」做介紹。

Gigaphoton公司簡介

Gigaphoton公司成立於2000年,作為一家雷射器的供應商,自成立以來一直為全球的半導體生產廠商提供有價值的解決方案。Gigaphoton時刻以客戶為中心,從產品研發到生產、銷售及維護,為用戶提供業界最高水準的支援。更為詳細的介紹請您造訪:www.gigaphoton.com

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新聞媒體專用聯絡窗口:
Gigaphoton株式會社
經營企劃部
寺島克知
電話: +81-285-37-6931
電子信箱: web_info@gigaphoton.com

- 新聞稿發佈於 ASIA TODAY 今日亞洲新聞網 http://ct.AsiaToday.com